483 其实,你的研究方向是对的
顾北没啥意见,自从春节到黄鹂家拜年之后,每隔一段时间顾北都要去她们家坐坐,增强和黄鹂父母之间的感情。
“那下班后提醒我给你爸买条烟。”顾北笑着说道。
去老丈人家做客,空手可不行。
“我妈说了,啥都不别买,特别是香烟!”黄鹂白了顾北一眼。
每次这家伙过来都和老爸两人聊天,聊到高兴处吞云吐雾,老妈很不高兴。
“行,听你的。”顾北只好回答。
不过烟不买,茶带点可以吧?张老板送给我的那盒极品大红袍,放着也没啥用…..
“对了,顾北,今天张文华和黄莺也过来吃饭。”黄鹂补充了一句。
张文华要来?那要和他好好聊聊。顾北高兴了。
自从和光电研究所签署攻克光刻机193纳米光源科研项目之后,顾北再也没去过光电所。
他知道这这事急不得的,否则国外研究了好几年没进展?况且自己是门外汉,就别在边上指手画脚讨人嫌。
但今天张文华来了,可以私下聊聊项目进展状况。
顾北下了班就拿着那盒极品大红袍和黄鹂一起开车直奔她家。
到了燕子弄堂,顾北和黄鹂进了院子,黄莺和张文华已经到了,看到他们两人进来,黄莺就跑出来招呼,挽着黄历的胳膊,还亲热的叫了顾北一声姐夫。
“我的车呢?”黄鹂问道。
“哎呀,在外面停着呢,姐放心,我绝对不会给你开坏的。”黄莺笑嘻嘻的。
自从乐饮公司搬到东浦开发区以后,黄鹂每天做顾北的车上下班,她那辆宝马几乎都不动,这可乐坏了黄莺,经常开着车出去玩,仿佛就是她的。
黄鹂开始还说两句后来也懒得管了。
看到黄鹂没再说什么,黄莺又笑嘻嘻的问顾北:“姐夫,什么时候股市又能大涨啊,上次投的太少,下次我一定要多投点。”
“哪有那么好的事?”顾北失笑道:“我估计这一两年都没戏。”
黄莺还没没开口说话,黄鹂却说道:“好啦,别烦你的姐夫,好好在你云云姐的公司工作,再不好好训练,你姐夫答应的宝马可就没了。”
听了黄鹂的话,黄莺噘起小嘴。
训练实在是太苦了…….一天就知道练习啊练习,连出一首单曲就不让…….
早知道这样,还不如跟着姐夫去炒股呢,什么宝马早就到手了!想想炒股赚钱的轻松劲,黄莺就非常羡慕。
唉……还是姐夫厉害,如果能和姐夫关系再好点....嘻嘻
只是没想到他们这么快就和好,自己一点机会都没有,黄莺心里暗暗叹气。
顾北可没想到和黄鹂亲热聊着的黄莺竟然再打自己的主意,他进了客厅,只有张文华一个人在。
“怎么就你一个?”黄鹂有些奇怪。
“我听阿姨说黄叔叔晚上有应酬,明哥刚才打电话所晚上要加班回不来,嫂子晚上夜班,阿姨在厨房炒菜。”张文华赶忙解释道。
“那和你顾北闲聊,我和莺莺去厨房帮忙。”黄鹂转身就往外走,看到黄莺不想动,瞪了她一眼硬把她拉了出去。
现在客厅就剩顾北和张文华两人,顾北随意寒暄就问道:“193纳米光源研究的怎么样?”
听顾北问这,张文华一脸苦笑:“几乎没什么进展,193nm波长步进扫描曝光机,光学光刻分辨率到达70nm的“极限”,据我们了解,日本尼康利用自己在干式微影技术的优势,继续开发157纳米的F2激光光源,这也是我们研究方向。”
怎么是干式?
顾北突然记得记得网上曾经说过,不是ASML公司的光刻机是什么“浸润式”的吗?这两者有啥区别?
“啥叫干式微影?”顾北问道。
张文华没想到顾北竟然对这种很专业的术语感兴趣,想了想才解释道:“所谓干式,是指就是指光刻机投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片上的光刻胶之间用的是空气做介质,顾名思义干式。”
“那为啥不用液体呢?”
顾北突然问道。
“你说用液体?”张文华神情很诧异。
“为什么不行?”没想到顾北的神情很认真:“不是要降低光的波长,光源出发是根本方法,水会改变光的折射率——这个高中生都知道吧?在透镜和硅片之间加一层水,原有的193nm激光经过折射,不就降低了吗?”这段话还是顾北重生前在网上看到的。
“顾北,没你想到这么简单!”张文华口气中带着沮丧:“就在干式微影老攻克不下来的时候,我也想到了用液体做介质,但实验了一段时间最后决定放弃。”
“为什么?”
“因为这里面有几乎无法克服的苦难,如果用水,浸入环境很容易引起缺陷,包括气泡和污染,还有抗蚀剂与流体或面漆的相容性问题,抗蚀剂的折射指数如何能大于等等一系列问题都无法克服。”
听不懂......
“刘所长怎么想的?”顾北皱眉问道。
“他开始笑我有些异想天开,我据理力争最后他同意我带几个人独自试验,不过到最后还是他说的对,我们又集中力量开始攻关干式微影,白白浪费了几个月时间。”
张文华说道最后有些不好意思。
“其实,你的研究方向是对的。”
顾北突然说出这句话,让张文华吃了一惊:“你说我的方向是正确?”
顾北点点头:“我问你,从理论上讲用液体做介质到底有没可能攻克这个难题?”
“理论上说是可行,但是实际遇到的问题很多,除了我刚才说的,还有折射指数大于的流体满足粘度、吸收和流体循环要求…….”张文华也不管顾北听的懂听不懂,又开始解释起来。
“好了,不说这个……”顾北打断他的话,“明天我就找你刘所长,研发方向放到液体做介质浸润式微影技术!”
顾北的语气不容置疑。
虽然他听不懂张文华说的那些艰涩专业术语,但是他记得很清楚,网上就说ASML公司就靠这个所谓的“浸润式”技术,打败了尼康IBM等公司所谓干式微影技术,成了光刻机的龙头。
这实际上是一种研发路线选择,一旦错了,满盘皆输!尼康IBM就是活生生的例子!
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“那下班后提醒我给你爸买条烟。”顾北笑着说道。
去老丈人家做客,空手可不行。
“我妈说了,啥都不别买,特别是香烟!”黄鹂白了顾北一眼。
每次这家伙过来都和老爸两人聊天,聊到高兴处吞云吐雾,老妈很不高兴。
“行,听你的。”顾北只好回答。
不过烟不买,茶带点可以吧?张老板送给我的那盒极品大红袍,放着也没啥用…..
“对了,顾北,今天张文华和黄莺也过来吃饭。”黄鹂补充了一句。
张文华要来?那要和他好好聊聊。顾北高兴了。
自从和光电研究所签署攻克光刻机193纳米光源科研项目之后,顾北再也没去过光电所。
他知道这这事急不得的,否则国外研究了好几年没进展?况且自己是门外汉,就别在边上指手画脚讨人嫌。
但今天张文华来了,可以私下聊聊项目进展状况。
顾北下了班就拿着那盒极品大红袍和黄鹂一起开车直奔她家。
到了燕子弄堂,顾北和黄鹂进了院子,黄莺和张文华已经到了,看到他们两人进来,黄莺就跑出来招呼,挽着黄历的胳膊,还亲热的叫了顾北一声姐夫。
“我的车呢?”黄鹂问道。
“哎呀,在外面停着呢,姐放心,我绝对不会给你开坏的。”黄莺笑嘻嘻的。
自从乐饮公司搬到东浦开发区以后,黄鹂每天做顾北的车上下班,她那辆宝马几乎都不动,这可乐坏了黄莺,经常开着车出去玩,仿佛就是她的。
黄鹂开始还说两句后来也懒得管了。
看到黄鹂没再说什么,黄莺又笑嘻嘻的问顾北:“姐夫,什么时候股市又能大涨啊,上次投的太少,下次我一定要多投点。”
“哪有那么好的事?”顾北失笑道:“我估计这一两年都没戏。”
黄莺还没没开口说话,黄鹂却说道:“好啦,别烦你的姐夫,好好在你云云姐的公司工作,再不好好训练,你姐夫答应的宝马可就没了。”
听了黄鹂的话,黄莺噘起小嘴。
训练实在是太苦了…….一天就知道练习啊练习,连出一首单曲就不让…….
早知道这样,还不如跟着姐夫去炒股呢,什么宝马早就到手了!想想炒股赚钱的轻松劲,黄莺就非常羡慕。
唉……还是姐夫厉害,如果能和姐夫关系再好点....嘻嘻
只是没想到他们这么快就和好,自己一点机会都没有,黄莺心里暗暗叹气。
顾北可没想到和黄鹂亲热聊着的黄莺竟然再打自己的主意,他进了客厅,只有张文华一个人在。
“怎么就你一个?”黄鹂有些奇怪。
“我听阿姨说黄叔叔晚上有应酬,明哥刚才打电话所晚上要加班回不来,嫂子晚上夜班,阿姨在厨房炒菜。”张文华赶忙解释道。
“那和你顾北闲聊,我和莺莺去厨房帮忙。”黄鹂转身就往外走,看到黄莺不想动,瞪了她一眼硬把她拉了出去。
现在客厅就剩顾北和张文华两人,顾北随意寒暄就问道:“193纳米光源研究的怎么样?”
听顾北问这,张文华一脸苦笑:“几乎没什么进展,193nm波长步进扫描曝光机,光学光刻分辨率到达70nm的“极限”,据我们了解,日本尼康利用自己在干式微影技术的优势,继续开发157纳米的F2激光光源,这也是我们研究方向。”
怎么是干式?
顾北突然记得记得网上曾经说过,不是ASML公司的光刻机是什么“浸润式”的吗?这两者有啥区别?
“啥叫干式微影?”顾北问道。
张文华没想到顾北竟然对这种很专业的术语感兴趣,想了想才解释道:“所谓干式,是指就是指光刻机投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片上的光刻胶之间用的是空气做介质,顾名思义干式。”
“那为啥不用液体呢?”
顾北突然问道。
“你说用液体?”张文华神情很诧异。
“为什么不行?”没想到顾北的神情很认真:“不是要降低光的波长,光源出发是根本方法,水会改变光的折射率——这个高中生都知道吧?在透镜和硅片之间加一层水,原有的193nm激光经过折射,不就降低了吗?”这段话还是顾北重生前在网上看到的。
“顾北,没你想到这么简单!”张文华口气中带着沮丧:“就在干式微影老攻克不下来的时候,我也想到了用液体做介质,但实验了一段时间最后决定放弃。”
“为什么?”
“因为这里面有几乎无法克服的苦难,如果用水,浸入环境很容易引起缺陷,包括气泡和污染,还有抗蚀剂与流体或面漆的相容性问题,抗蚀剂的折射指数如何能大于等等一系列问题都无法克服。”
听不懂......
“刘所长怎么想的?”顾北皱眉问道。
“他开始笑我有些异想天开,我据理力争最后他同意我带几个人独自试验,不过到最后还是他说的对,我们又集中力量开始攻关干式微影,白白浪费了几个月时间。”
张文华说道最后有些不好意思。
“其实,你的研究方向是对的。”
顾北突然说出这句话,让张文华吃了一惊:“你说我的方向是正确?”
顾北点点头:“我问你,从理论上讲用液体做介质到底有没可能攻克这个难题?”
“理论上说是可行,但是实际遇到的问题很多,除了我刚才说的,还有折射指数大于的流体满足粘度、吸收和流体循环要求…….”张文华也不管顾北听的懂听不懂,又开始解释起来。
“好了,不说这个……”顾北打断他的话,“明天我就找你刘所长,研发方向放到液体做介质浸润式微影技术!”
顾北的语气不容置疑。
虽然他听不懂张文华说的那些艰涩专业术语,但是他记得很清楚,网上就说ASML公司就靠这个所谓的“浸润式”技术,打败了尼康IBM等公司所谓干式微影技术,成了光刻机的龙头。
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